電子廠在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣主要來(lái)自于各種化學(xué)處理步驟,包括清洗、蝕刻、光刻、涂層等。這些工藝使用的化學(xué)品可能包括溶劑、酸、堿、有機(jī)硅、磷化物等,它們?cè)谑褂眠^(guò)程中會(huì)釋放出各種有機(jī)廢氣(VOCs)、酸性廢氣、堿性廢氣和其他有害物質(zhì)。例如,液晶面板的制造過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生含有苯、甲苯、二甲苯等VOCs的廢氣,以及酸性和堿性廢氣。
顯示屏制造業(yè)特別是液晶顯示屏(LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管顯示屏(OLED)的生產(chǎn)過(guò)程中,會(huì)使用到多種有機(jī)溶劑和特殊的化學(xué)物質(zhì)。這些物質(zhì)在蒸發(fā)、烘烤、固化等步驟中會(huì)釋放到空氣中,形成廢氣。有機(jī)廢氣處理的關(guān)鍵在于去除或轉(zhuǎn)化VOCs、酸性和堿性氣體以及其他可能的有害物質(zhì)。
催化燃燒法:這種方法適用于處理可燃的或高溫下分解的物質(zhì)。通過(guò)在催化劑的作用下,將廢氣中的有機(jī)物在較低的溫度下氧化分解為二氧化碳和水,適用于凈化高濃度的有機(jī)廢氣。
活性炭吸附法:利用活性炭的多孔性和大比表面積來(lái)吸附廢氣中的VOCs。這種方法適用于處理大風(fēng)量、低濃度的廢氣,但需要定期更換或再生活性炭。
吸收法:通過(guò)液體吸收劑處理氣體混合物以除去某一種或幾種氣體。物理吸收涉及氣體在溶液中的溶解,而化學(xué)吸收涉及氣液間的化學(xué)反應(yīng)。
冷凝法:利用物質(zhì)在不同溫度下具有不同飽和蒸汽壓的物理性質(zhì),通過(guò)降低溫度或提高壓力使廢氣中的污染物冷凝并從廢氣中分離出來(lái)。
在設(shè)計(jì)顯示屏廢氣處理設(shè)備時(shí),應(yīng)綜合考慮廢氣的成分、濃度、流量以及生產(chǎn)工藝,選擇合適的預(yù)處理和主處理技術(shù)。同時(shí),應(yīng)考慮系統(tǒng)的能效、運(yùn)行成本以及是否符合當(dāng)?shù)氐沫h(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)新的技術(shù)和環(huán)保要求,可以采用多種技術(shù)的組合來(lái)確保廢氣處理的有效性和經(jīng)濟(jì)性。
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